Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine

Vakuový magnetronový naprašovací stroj

Odeslat dotaz

Chat teď

Představení produktu

Vakuový magnetronový naprašovací stroj

Specifikace

Magnetronový naprašovací potahovač TOB-1100X-SPC-16M využívá efekt rozprašování produkovaný ostřelováním materiálu terče ve vakuu, což způsobuje, že atomy nebo molekuly materiálu terče vystřelují z pevného povrchu, a proces tvorby tenkého filmu je nanesen na substrát. Patří k přípravě technologie nanášení tenkých vrstev fyzikálním napařováním (PVD). Magnetronový naprašovací nanášeč TOB-1100X-SPC-16M lze použít pro přípravu vzorků rastrovacího elektronového mikroskopu v laboratoři a kompaktní velikost zařízení šetří místo v laboratoři; obsluha je jednoduchá a vhodná pro začátečníky.

Funkce

Je vybaven vakuoměrem a měřičem rozprašovacího proudu, které mohou sledovat pracovní stav v reálném čase.
Nastavením regulátoru rozprašovacího proudu a mikrovakuového plynového ventilu řídí tlak vakuové komory, ionizační proud a vybírá požadovaný ionizační plyn pro dosažení nejlepšího efektu povlaku.
Pryžový těsnící kroužek na okraji pouzdra zvonu je speciálně navržen tak, aby zajistil, že při dlouhodobém používání nedojde k odštípnutí pouzdra skleněného zvonu.
Keramicky utěsněné armatury vysokonapěťových elektrod jsou odolnější než běžně používaná pryžová těsnění.
Podle ionizačních charakteristik plynu v elektrickém poli se používá velkokapacitní rozprašovací vakuová komora a odpovídající plocha rozprašovací elektrody, aby naprašovaná vrstva byla rovnoměrnější a čistší.
Rozprašovací hlava využívá technologii Peltierova chlazení k získání vysoce výkonných povlaků jemných částic.
K dispozici jsou vodou chlazené rozprašovací hlavy a vodou chlazené unášecí stoly.

jméno výrobku	Vakuový magnetronový naprašovací stroj
Model produktu	TOB-1100X-SPC-16M
Podmínka instalace	Toto zařízení je nutné používat v nadmořské výšce 1000 m nebo méně, při teplotě 25 stupňů ± 15 stupňů a vlhkosti 55 % Rh±10 % Rh. 1. voda: zařízení musí být vybaveno volitelným samocirkulačním strojem na chladicí vodu (doplňování čisté vody nebo deionizované vody) 2. elektřina: AC220V 50Hz, musí mít dobré uzemnění 3. plyn: komora zařízení, která má být naplněna argonem (čistota 99,99 % nebo více), potřeba zajistit vlastní argonovou plynovou láhev (s redukčním ventilem) 4. Pracovní stůl: rozměr 600mm×600mm×700mm, nosnost 50kg nebo více. 5. Ventilační zařízení: není nutné
Hlavní parametr	1. Terč: Ø50mm
	2. Vakuová komora: Ø160mm×120mm
	3. stupeň vakua: menší nebo rovný 4×10-2mbar
	4, max. proud: 50mA (volitelně 100mA)
	5. Limitní čas lze nastavit: 9999s
	6. Mikropodtlakový ventil: Připojte hadici Ø3mm
	7. mezní napětí: 1600V DC
	8. mechanické čerpadlo: 2L/s
	9. Cílový materiál: Požadavek na velikost:φ50mm×(0.1-0,5)mm(tloušťka) Vhodné pro naprašování Au, Ag, Cu a dalších kovů (k dispozici u nás)
	10. Velikost: 360mm×300mm×380mm Celková hmotnost: 50 kg, Čistá hmotnost: 15 kg